UE MEMS (M2) : Systèmes microélectromécaniques

Bibliographie, par ordre de pertinence par rapport au contenu du cours :

[1] Chang Liu, Foundation of MEMS, Pearson Eductaion, Inc., New Jersey, 2006, ISBN 0-13-147286-0

[2] Stephen D. Senturia, Microsystem Design, 2001, Springer Science, ISBN 0-7923-7923-7246-8

[3] D. Galayko, Mémoire de thèse de doctorat, 2002

[4] V. K. Varadan, K. J. Vinoy, S. Gopalakrishnan, Smart Material Systems and MEMS, design and development technologies, John Wiley & Sons, 2006

Ces livres sont disponibles dans la bibliothèque de Jussieu (Informatique recherche ou physique recherche, à se renseigner sur le portail Jubil)

Programme du module:

Les enseignements sont organisés en 7 créneaux de 4h qui ont lieu les vendredi matin, sauf le cours 3. 

Cours 2. Introduction aux MEMS. Transduction capacitive, résonateurs MEMS à paramètres localisés. Résonateurs MEMS avec transducteurs, leurs modèles mathématique et électrique.

Cours 3. Technologies de fabrication des MEMS (intervention de Philippe Basset de l'ESIEE).

  Cours 4. Eléments de la mécanique du solide, résonateurs réels.

Cous 5. Application des MEMS: RF, capteurs résonants et inertiels. 

Transparents du séminaire MEMS RF.

Transparents du cours "Capteur Inertiels".

Travaux pratiques :

TP1. Modélisation des MEMS par approche comportementale: transducteur capacitif, résonateur mécanique, nonlinéarités.

Sujet, fichiers de simulation

 

TP2, en 2 parties : Le TP-mini-projet consiste à une conception et modélisation d'un accéléromètre à boucle fermée. Pour comprendre le sujet, se référer aux documents suivants:

sujet partie 1

sujet partie 2

B. V. Amini, R. Abdolvand, F. Ayazi, A 4.5-mW Closed-Loop Sigma-Delta Micro-Gravity CMOS SOI Accelerometer,   IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS, VOL. 41, NO. 12, DECEMBER 2006

L'éxposé plus détaillé du sujet se trouve dans la thèse de doctorat:

Babak Vakili Amini,  A Mixed-Signal Low-Noise Sigma-Delta Interface IC for  Integrated Sub-Micro-Gravity Capacitive SOI 
Accelerometers, PhD dissertation, Georgia Institute of Technology, May 2006